Сенсорная электроника, датчики: твердотельные сенсорные структуры на кремнии
-
Скопировать в буфер библиографическое описание
Сенсорная электроника, датчики: твердотельные сенсорные структуры на кремнии : учебное пособие для вузов / Э. П. Домашевская [и др.] ; под редакцией А. М. Ховива. — Москва : Издательство Юрайт, 2023. — 203 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-12792-8. — Текст : электронный // Образовательная платформа Юрайт [сайт]. — URL: https://urait.ru/bcode/518779 (дата обращения: 21.11.2024).
- Добавить в избранное
Курс «Твердотельные сенсорные структуры на кремнии» посвящен изложению анализу фундаментальных и прикладных свойств гетероструктур с сенсорными свойствами, изготовленных из современных материалов c различными по характеру и масштабу пространственно-энергетическими неоднородностями, нанокристаллических, аморфных, пористых, (микро)гетерогенных и гетерофазных, имеющих сложные профили распределения локализованных состояний на гетерограницах. Основное внимание уделено описанию низко- и высокочастотных вольт-фарадных и динамических вольт-амперных характеристик МДП- и МОП-структур с «активными» в отношении адсорбции/десорбции диэлектриками и оксидами металлов, которые можно эффективно использовать для диагностики сенсорных свойств. Содержание соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по естественнонаучным направлениям.