Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники
-
Скопировать в буфер библиографическое описание
Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники : учебник для вузов / Е. Н. Ивашов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, С. В. Степанчиков ; под редакцией А. С. Сигова. — 2-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2023. — 369 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-03196-6. — Текст : электронный // Образовательная платформа Юрайт [сайт]. — URL: https://urait.ru/bcode/512208 (дата обращения: 15.08.2024).
- Добавить в избранное
![](/images/ajax.gif)
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделение и др. Учебный материал соответствует курсу «Теория механизмов и машин», он четко систематизирован, дан в доступной для понимания форме. Текст содержит чертежи, информативные схемы, таблицы и графики. Главным плюсом учебника является наличие большого количества методологически эффективных практических примеров с разбором решений.