Повышаем образовательный уровень в России

ОСНОВЫ КОНСТРУИРОВАНИЯ И ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ. ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ. Учебник для бакалавриата и магистратуры Видеопрезентация

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (г. Томск).

Авторы книги: Под ред. Гуляева Ю.В.
Все авторы
Фото не найдено
Гуляев Юрий Васильевич

доктор физико-математических наук, профессор, академик РАН

Фото не найдено
Иванов Владимир Иванович

доктор технических наук, профессор

Сигов Александр Сергеевич
Сигов Александр Сергеевич

доктор физико-математических наук, профессор, академик РАН

Фото не найдено
Суржиков Анатолий Петрович

доктор физико-математических наук, профессор, заслуженный деятель науки РФ, почетный работник высшего профессионального образования РФ, Почетный работник науки и техники РФ

Свернуть список авторов
Год издания:
2019
К-во страниц:
460
Тип обложки:
Переплет
ISBN:
978-5-534-03170-6
Издательство:
М.:Издательство Юрайт
Аннотация:
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / Ю. В. Гуляев [и др.] ; под редакцией Ю. В. Гуляева. — Москва : Издательство Юрайт, 2019. — 460 с. — (Университеты России). — ISBN 978-5-534-03170-6.

Видеопрезентация: