Авторский коллектив

Предисловие

Введение

Тема 1. Полупроводниковые структуры для сенсоров и методы их исследования

• 1.1. Электронные процессы в полупроводниковых гетероструктурах и методы их исследования (614мин.)
• • 1.1.1. Исследование механизмов переноса носителей заряда на постоянном токе (метод стационарных вольт-амперных характеристик) (296мин.)
  • 1.1.2. Исследование гетерогенных структур на переменном токе (212мин.)
• 1.2. Механизмы сорбционной чувствительности полупроводниковых материалов и структур (296мин.)
• 1.3. Физические принципы работы и характеристики микроэлектронных сенсоров влажности (85мин.)
• Вопросы и задания для повторения (21мин.)
• Тест:  Полупроводниковые структуры для сенсоров и методы их исследования (32мин.)

Тема 2. Кремниевые МОП-структуры с поликристаллическими металлоксидными полупроводниками

• 2.1. Дефектообразование в оксидных слоях на кремнии, стимулированное электромагнитным излучением (ЭМИ) (212мин.)
• • 2.1.1. Воздействие гармонического (высокочастотного) и импульсного ЭМИ на материалы и твердотельные структуры (64мин.)
  • 2.1.2. Необратимые изменения параметров МДП-структур после воздействия импульсного ЭМИ (127мин.)
  • 2.1.3. Динамические изменения параметров МДП-структур под воздействием импульсного ЭМИ (21мин.)
• 2.2. Фазо- и дефектообразование при термооксидировании тонких пленок металлов на кремнии (212мин.)
• • 2.2.1. Получение металлоксидных слоев на кремнии (42мин.)
  • 2.2.2. ВЧ ВФХ и динамические ВАХ МОП-структур с нестехиометрическими оксидами (WO3-х, SnO2-x, PdOx) (127мин.)
  • 2.2.3. ВЧ ВФХ и динамические ВАХ МОП-структуры со стехиометрическими оксидами металлов (42мин.)
• 2.3. Высоко- и низкочастотная «поверхностная» емкость распределенных гетероструктур металл/полупроводник при адсорбции донорных и акцепторных газов (296мин.)
• Вопросы и задания для повторения (21мин.)
• Тест:  Кремниевые МОП-структуры с поликристаллическими металлоксидными полупроводниками (26мин.)

Тема 3. Кремниевые гетероструктуры с аморфными пленками триоксида вольфрама

• 3.1. Структурно-энергетические основы функциональных применений аморфных (нанокристаллических) пленок триоксида вольфрама (720мин.)
• • 3.1.1. Получение и основные физические свойства тонких пленок триоксида вольфрама (106мин.)
  • 3.1.2. Изменения ближнего атомного порядка в пленках a-WO3 в процессах окрашивания, абсорбции и «старения» (254мин.)
  • 3.1.3. Электронная структура и зарядовые состояния пленок триоксида вольфрама и гетероструктур a-WO3/c-Si (339мин.)
• 3.2. Сенсорные свойства тонких пленок a-WO3 и гетероструктур a-WO3/c-Si (233мин.)
• • 3.2.1. Диссоциативная абсорбция водорода и водородсодержащих газов пленками a-WO3 (106мин.)
  • 3.2.2. Адсорбционная чувствительность пленок a-WO3 к диоксиду азота (64мин.)
  • 3.2.3. Химические и оптические сенсоры на основе гетероструктур a-WO3/c-Si (64мин.)
• 3.3. МДП-структуры с аморфным триоксидом вольфрама в условиях сорбции паров воды (106мин.)
• • 3.3.1. Частотные свойства a-WO3 в зависимости от относительной влажности (42мин.)
  • 3.3.2. ВЧ ВФХ МДП-сенсора влажности и кинетика сорбции-десорбции паров воды (42мин.)
  • 3.3.3. О растекании заряда по гидратированному диэлектрику (21мин.)
• Вопросы и задания для повторения (21мин.)
• Тест:  Кремниевые гетероструктуры с аморфными пленками триоксида вольфрама (54мин.)

Тема 4. Пористый кремний и гетероструктуры por-Si/c-Si

• 4.1. Гетероструктуры с пористым кремнием в условиях сорбции паров воды (381мин.)
• • 4.1.1. Методика адсорбционно-емкостной порометрии (148мин.)
  • 4.1.2. ВЧ ВФХ сенсоров влажности (191мин.)
• 4.2. Неравновесные процессы в сенсорных гетероструктурах por-Si/c-Si (64мин.)
• • 4.2.1. О возможном электролизе воды в сенсорах влажности (21мин.)
• 4.3. Физико-химия взаимодействия пористого кремния с водой (148мин.)
• Вопросы и задания для повторения (21мин.)
• Тест:  Пористый кремний и гетероструктуры por-Si/c-Si (30мин.)

Тема 5. МДП-структуры с высокомолекулярными диэлектриками в условиях сорбции паров воды

• 5.1. Исследование сорбции паров воды в пленках полиамидов на переменном токе (191мин.)
• • 5.1.1. Полиамиды (ПА): получение, основные свойства, применение (127мин.)
  • 5.1.2. ВЧ ВФХ емкостного сенсора влажности с ПА диэлектриком (64мин.)
• 5.2. Электрофизические и сорбционные характеристики тонких пленок гидроксиапатита кальция на кремнии (64мин.)
• 5.3. Твердотельные структуры с биоорганическими материалами (127мин.)
• Вопросы и задания для повторения (21мин.)
• Тест:  МДП-структуры с высокомолекулярными диэлектриками в условиях сорбции паров воды (24мин.)

Заключение

Литература

Завершение курса

• Тест:  Итоговое тестирование (50мин.)