Вход / Регистрация
Войдите или зарегистрируйтесь, чтобы получить все преимущества платформы Юрайт!

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы

  • Скопировать в буфер библиографическое описание
    Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / Ю. В. Гуляев [и др.] ; под редакцией Ю. В. Гуляева. — Москва : Издательство Юрайт, 2017. — 460 с. — (Университеты России). — ISBN 978-5-534-03170-6. — Текст : электронный // ЭБС Юрайт [сайт]. — URL: https://urait.ru/bcode/402562 (дата обращения: 26.09.2020).
  • Добавить в избранное
Учебник для бакалавриата и магистратуры
2017
Страниц 460
Обложка Твердая
ISBN 978-5-534-03170-6
Библиографическое описание
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / Ю. В. Гуляев [и др.] ; под редакцией Ю. В. Гуляева. — Москва : Издательство Юрайт, 2017. — 460 с. — (Университеты России). — ISBN 978-5-534-03170-6. — Текст : электронный // ЭБС Юрайт [сайт]. — URL: https://urait.ru/bcode/402562 (дата обращения: 26.09.2020).
Показать все

Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.